【产品中心】刻蚀工艺基础知识简析【刻蚀工艺有哪些】
以刻蚀工艺基础知识简析 刻蚀工艺有哪些 什么是刻蚀工艺 刻蚀工艺是一种微电子制造工艺,它通过化学反应将材料表面的一部分物质去除,从而形成所需的结构和图案。刻蚀工艺广泛应用于集成电路、光学元件、微机电系统等领域。 刻蚀工艺的分类 刻蚀工艺按照刻蚀介质的不同,可以分为湿法刻蚀和干法刻蚀两种。湿法刻蚀是利用化学液体对材料表面进行溶解,而干法刻蚀则是利用高能粒子束或等离子体对材料表面进行加工。 湿法刻蚀工艺 湿法刻蚀工艺是将材料放置在化学液体中,通过化学反应溶解掉材料表面的一部分物质,从而形成所需的结